一种半导体芯片等离子清洗机的上下料装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体芯片等离子清洗机的上下料装置，包括机座、储料装置、传料装置、第一推料装置、料盘组件和第二推料装置，储料装置包括安装在机座上的第一升降机构、安装在第一升降机构的夹持组件和安装在夹持组件上的料盒，传料装置包括安装在机座上的平移组一以及安装在平移组一的左侧板与右侧板，左侧板和右侧板安装有输料组件，第一推料装置包括安装在机座上的第三平移机构和安装在第三平移机构的第一推爪，料盘组件安装在机座上，第二推料装置包括安装在机座上的第四平移机构、安装在第四平移机构的第二升降机构和安装在第二升降机构的第二推爪。采用本实用新型，实现减少调节部件的数量的功能，简化调节步骤，减少耗时。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体芯片等离子清洗机的上下料装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122153047.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-07
授权号 ：
CN216582860U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
罗杰和
申请人 ：
广东协铖微电子科技有限公司
申请人地址 ：
广东省肇庆市端州区端州一路端州工业区羚化街111区厂房
代理机构 ：
佛山市原创智慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
叶剑
优先权 ：
CN202122153047.X
主分类号 ：
B65G47/90
IPC分类号 ：
B65G47/90
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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