一种固晶机视觉定位系统
授权
摘要
本实用新型属于固晶机检测机构技术领域，具体是一种固晶机视觉定位系统，包括固晶相机、旋转固晶头、取晶相机、上视相机，固晶相机、取晶相机设置在旋转固晶头四周，固晶相机正对于固晶位，取晶相机正对于取晶位，上视相机设置在旋转固晶头下方，上视相机包括反射镜片、光源、镜头、微型相机，反射镜片设置在镜头前侧，镜头的前部设有光源，镜头与微型相机前侧连接，反射镜片所反射的晶圆图像与镜头同光轴。同现有技术相比，通过上视相机检测旋转固晶头吸取过程中对芯片造成的偏移，通过旋转固晶头带动芯片旋转完成芯片位置的修正，可以使固晶精度提高到较高水平。
基本信息
专利标题 ：
一种固晶机视觉定位系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122283335.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-18
授权号 ：
CN216213336U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
渠敬国王世渊耿爽
申请人 ：
上海赢朔电子科技股份有限公司
申请人地址 ：
上海市青浦区久远路389号2幢
代理机构 ：
上海专益专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
方燕娜
优先权 ：
CN202122283335.7
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L21/60
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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