一种基板除尘装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种基板除尘装置，包括除尘室，风棒和抽尘通道，所述除尘室内设有输送轨道，风棒通过安装板设置在除尘室内且位于输送轨道上方，安装板两端设有弧形槽，安装板通过弧形槽与除尘室固定连接，所述抽尘通道与除尘室内部连通，所述除尘室包括座体和盖板，座体上方设有开口部，盖板打开或封闭开口部，盖板与座体枢轴连接，盖板与座体之间设有气压撑杆，座体两侧设有槽口，输送轨道穿过槽口。本实用新型的一种基板除尘装置能够去除静电和灰尘，有效提升了除尘效率；此外，能够根据不同基板调节风棒位置，使用灵活性更好。
基本信息
专利标题 ：
一种基板除尘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122462163.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-13
授权号 ：
CN216357517U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
王建中
申请人 ：
苏州工业园区康维科技工程有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区和顺路33号1号厂房
代理机构 ：
温州知远专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
汤时达
优先权 ：
CN202122462163.X
主分类号 ：
H05K3/00
IPC分类号 ：
H05K3/00 H05K3/26 B08B5/04 H05F3/04
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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