本实用新型公开了一种硼扩散快速氧化装置，技术方案要点是：包括水箱，所述水箱的一侧开设有两个第一管道孔，其中一个第一管道孔的内部固定安装有入气管，另一个第一管道孔的内部固定安装有入水管，水箱的一侧设置快速氧化硼扩散的湿氧组件，湿氧组件包括：加热器，加热器固定安装在水箱的内部一侧，水箱的一侧开设有第二管道孔，第二管道孔的内部固定安装有隔膜泵，隔膜泵的一端固定套设有三通电磁阀，三通电磁阀的一端固定套设有第一炉管，第一炉管的一端固定套设有泄压阀，泄压阀的一端固定套设有第二炉管，第二炉管的一端固定套设有单向阀，单向阀的一端固定套设有扩散炉管，通过设置加热器，均匀长氧化层，扩散时间缩短，产能提升约40％。