本实用新型公开一种样品平面精确定位装置及X射线荧光光谱仪，装置包括测样面板、样品中板、样品上板、样品盘、横移机构和纵移机构，样品中板通过第一滑动装置安装在测样面板上，纵移机构设置在测样面板上，纵移机构与样品中板固定连接，纵移机构驱动样品中板相对测样面板前后方向移动，样品上板通过第二滑动装置安装在样品中板上，横移机构设置在测样品中板上，横移机构与样品上板固定连接，横移机构驱动样品上板相对样品中板左右方向移动，样品盘安装在样品上板上，其通过采用横移机构和纵移机构达到分别移动样品中板和样品上板，以此实现对样品盘内的样品进行精确移动定位，使样品在水平面的两个正交方向移动。