一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，包括预热座，所述预热座的上方设有预热罩，所述预热罩的顶部设有调节架，所述调节架一侧开设有滑槽，所述滑槽内部设有丝杆，本实用新型通过设有的加热架与红外线加热管的使用，能够对基板上的光阻作热处理，让光阻微硬化，传送时即可避免因软性基板变形而造成光阻流动，从而使光阻厚度均匀，同时配合设有的调节架、丝杆、电机、滑板和拉杆的使用，使其能够改变红外线加热管与基板之间距离，使其加热效果更好；通过设有的连接头、插杆、拉板、限制杆和弹簧的配合使用，使其能够方便加热架和红外线加热管的拆装，使其便于更换或维修。
基本信息
专利标题 ：
一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122886955.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-23
授权号 ：
CN216704967U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
刘峰吴铭钦
申请人 ：
苏州工业园区雨竹半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧
代理机构 ：
苏州拓云知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王云峰
优先权 ：
CN202122886955.X
主分类号 ：
B05D3/02
IPC分类号 ：
B05D3/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D3/00
涂布液体或其他流体的表面的预处理；已有涂层的后处理，例如要用液体或其他流体作后续涂布的已有的涂层的中间处理
B05D3/02
烘烤
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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