一种圆型悬浮式镀膜机
授权
摘要
本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体地说，涉及一种圆型悬浮式镀膜机。包括真空室、给真空室抽真空的真空系统、卷绕系统、作为卷绕系统的载体并带动卷绕系统出入真空室的卷绕车和蒸发系统，以及作为蒸发系统的载体并带动蒸发系统出入真空室的蒸发车。本实用新型的结构设计合理，在使用最小的真空室情况下完成卷绕系统和蒸发系统的布置，对设备真空系统配置要求低，节约抽空时间，提高设备镀膜效率，同时，在完成镀膜后，在卷绕车和蒸发车的驱动下，卷绕系统和蒸发系统可同时开出真空室进行清理作业，提高了工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种圆型悬浮式镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122913360.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
CN216473464U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
王用兵赵则栋王国涛
申请人 ：
山东省宝丰镀膜有限公司
申请人地址 ：
山东省潍坊市青州市经济开发区金顺路西侧
代理机构 ：
济南方宇专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
史长敏
优先权 ：
CN202122913360.9
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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