适用于异质结电池非晶硅沉积的载板
授权
摘要
本实用新型公开了一种适用于异质结电池非晶硅沉积的载板，属于太阳能电池制造设备技术领域。其解决了现有技术中PECVD用载板不方便搬运、加工和经常会覆盖尘土的缺陷。其主要包括机架，还包括载板本体，所述载板本体上开设多个硅片卡槽，所述载板本体包括第一子载板和第二子载板，所述第一子载板通过铰链与第二子载板铰接，第一子载板上分别开设第一横向凹槽和第一竖向凹槽，第二子载板上分别开设与第一横向凹槽配合的第二横向凹槽和与第一竖向凹槽配合的第二竖向凹槽，第一横向凹槽和第二横向凹槽分别与第一固定板通过螺栓固定，第一竖向凹槽和第二竖向凹槽分别与第二固定板通过螺栓固定。
基本信息
专利标题 ：
适用于异质结电池非晶硅沉积的载板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123067738.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-08
授权号 ：
CN216311736U
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
师海峰白焱辉王继磊黄金鲍少娟冀杨洲高英杰贾慧君
申请人 ：
晋能光伏技术有限责任公司
申请人地址 ：
山西省晋中市山西综改示范区晋中开发区新能源汽车园区广安东街533号
代理机构 ：
山西晋扬知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张学元
优先权 ：
CN202123067738.4
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 C23C16/458 B08B17/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-04-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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