一种太阳能电池非晶硅薄膜沉积装备用切换组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种太阳能电池非晶硅薄膜沉积装备用切换组件，它包括内腔室、形成在所述内腔室内顶壁的多道切换导轨、安装在所述内腔室外壁上且与所述切换导轨对应设置的左右切换机构、安装在所述左右切换机构上的第一平移机构以及安装在所述内腔室外壁上用于与所述第一平移机构相配合的第二平移机构。可以用于对经过内腔室的物料进行位置切换，从而实现对物料两侧面的沉积，有利于提高沉积效率并简化设备的整体结构。
基本信息
专利标题 ：
一种太阳能电池非晶硅薄膜沉积装备用切换组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921721689.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-15
授权号 ：
CN210945775U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
宋银海姚飞贾银海钱锋埃尔詹·英马兹
申请人 ：
苏州帕萨电子装备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市太仓市城厢镇锦州路18号2幢
代理机构 ：
苏州根号专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
项丽
优先权 ：
CN201921721689.1
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C16/54 H01L31/20
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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