双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及一种双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备，是非晶硅薄膜太阳能电池的规模化生产中一种核心工艺设备，所述双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备包括真空镀膜机。该真空镀膜机设有两个真空腔体，每个真空腔体设有一到多个电极盒，每个电极盒可放置多片玻璃，所述两个真空腔体共用真空获得/压力测量系统，工艺气体/流量控制系统，射频电源/匹配器系统，并通过中心控制系统在时间上控制两真空腔体的化学气相沉积为交替工作过程，该设备大幅度地提高了非晶硅薄膜太阳能电池量产过程中的设备可靠性，提高了该高质量低速沉积工艺技术的产量，能够有效降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820152147.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-08-19
授权号 ：
CN201274295Y
授权日 ：
2009-07-15
发明人 ：
奚建平金小亮
申请人 ：
上海曙海太阳能有限公司
申请人地址 ：
201300上海市南汇区工业园区陶桥路138号
代理机构 ：
上海光华专利事务所
代理人 ：
余明伟
优先权 ：
CN200820152147.2
主分类号 ：
H01L31/20
IPC分类号 ：
H01L31/20 C23C16/44
法律状态
2018-09-11 ：
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 31/20
申请日 : 20080819
授权公告日 : 20090715
申请日 : 20080819
授权公告日 : 20090715
2009-07-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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