非晶硅沉积炉中的导热油加热装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公布了一种非晶硅沉积炉中的导热油加热装置，包括真空室腔体外壁，保温层，加热层，该加热层位于真空室腔体外壁上，还包括由充有导热油的导热油腔体形成的加热层，该加热层设置在所述的真空室外壁和保温层内壁之间，该导热油腔体外壁面与真空室腔体外壁面之间形成导热良好的贴合面，该导热油腔体具有多个进油口和出油口，且每个进油口和出油口与导热油腔体端部结合部为液密封。本实用新型解决了现有技术中存在的加热速度慢，加热均匀性不好的技术问题。

基本信息

专利标题：

非晶硅沉积炉中的导热油加热装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720122312.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-08-21

授权号：

CN201074247Y

授权日：

2008-06-18

发明人：

李毅周振义

申请人：

李毅

申请人地址：

518029广东省深圳市福田区八卦四路先科机电大厦534室

代理机构：

深圳市毅颖专利商标事务所

代理人：

张艺影

优先权：

CN200720122312.5

主分类号：

C23C16/24

IPC分类号：

C23C16/24 C23C14/06 F24H8/00

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C16/00

通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺

C23C16/22

以沉积金属材料以外之无机材料为特征的

C23C16/24

仅沉积硅

法律状态

2017-09-26 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101749621489
IPC(主分类) : C23C 16/24
专利号 : ZL2007201223125
申请日 : 20070821
授权公告日 : 20080618
终止日期 : 无

2010-05-12 ：

专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101001759831
IPC(主分类) : C23C 16/24
专利号 : 2007201223125
合同备案号 : 2010440020002
让与人 : 李毅
受让人 : 深圳市创益科技发展有限公司
实用新型名称 : 非晶硅沉积炉中的导热油加热装置
申请日 : 20070821
授权公告日 : 20080618
许可种类 : 排他许可
备案日期 : 20100317

2009-03-04 ：

专利实施许可合同的备案

合同备案号 : 2008440000460
让与人 : 李毅
受让人 : 深圳市创益科技发展有限公司
发明名称 : 非晶硅沉积炉中的导热油加热装置
申请日 : 20070821
授权公告日 : 20080618
许可种类 : 排他许可
备案日期 : 2008.12.8
合同履行期限 : 2008.10.4至2009.10.4合同变更

2008-06-18 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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