一种原位扫描电镜用石墨烯液体室和硅片复合结构
授权
摘要
本实用新型涉及一种原位扫描电镜用石墨烯液体室和硅片复合结构，属于显微镜液体室技术领域。该液体室包括用于承装液体样本的液体室本体和液体样本，所述液体室本体内设有至少1个石墨烯铜网；所述石墨烯铜网位于液体样本与扫描电镜射出的电子束之间；所述液体室本体内设有硅片，所述石墨烯铜网粘贴在所述硅片上，所述硅片上设有通孔。本实用新型解决了传统的石墨烯液体室通过将石墨烯铜网对贴的技术手段所引发的石墨烯液体包容易损坏，且石墨烯液体室不能用于扫描电镜的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
一种原位扫描电镜用石墨烯液体室和硅片复合结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123152215.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-15
授权号 ：
CN216696123U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
谭立怡
申请人 ：
绍兴励思仪仪器设备有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市柯桥区柯桥经济开发区西环路586号科创大厦B座601-602室
代理机构 ：
北京同恒源知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵荣之
优先权 ：
CN202123152215.X
主分类号 ：
G01N23/22
IPC分类号 ：
G01N23/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
