本实用新型提供一种光刻机用废料清理设备，包括防尘风机，所述防尘风机的输出端与连管的一端连通固定，所述连管上滑动设置有连板，所述连板的背离连管的一端设置有伺服电机，所述伺服电机的输出端穿过连板并与三角板固定连接，所述热风管、第一清洁管以及第二清洁管穿过三角板的一端与连管的一端相配合，所述防尘风机的一侧端面设置有安装板，所述安装板上设置有液压杆，所述液压杆的输出端与连板的一侧端面固定连接,与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：避免了因水渍附着在曝光平台上，无法清理，导致后续的光刻失焦，影响对芯片的光刻作业。