一种砷化镓晶片表面清洗工装
授权
摘要
本申请提供了一种砷化镓晶片表面清洗工装，属于砷化镓清洗技术领域。该砷化镓晶片表面清洗工装包括转动组件和清洗组件，所述转动组件包括清洗池、电机、固定框、弧形板、螺纹杆、固定板、弹性件和夹板，所述清洗组件包括水管、喷头和排液管，所述水管设置于所述清洗池内，所述喷头连通设置于所述水管一侧，所述排液管连通设置于所述清洗池底部，通过设置清洗池、电机、固定框、弧形板、螺纹杆、固定板、弹性件和夹板，能够对砷化镓晶片夹紧固定，同时带动其在清洗池内转动，能够调节对砷化镓晶片夹紧程度，提高实用性，通过设置括水管、喷头和排液管，能够对清洗池内转动的砷化镓晶片进行全方面的冲刷。
基本信息
专利标题 ：
一种砷化镓晶片表面清洗工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123203335.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-20
授权号 ：
CN216460459U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
袁宁张双双华平壤
申请人 ：
派尼尔科技（天津）有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区经济技术开发区黄海路276号泰达中小企业园2号楼602
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123203335.8
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 H01L21/67 H01L21/02 B01D29/03 B01D29/58
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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