一种日盲/红外双波段自动能光电探测器件及制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明属于光电探测领域,公开了一种日盲/红外双波段自动能光电探测器件及制备方法。首先采用低压有机化学气相沉积方法在蓝宝石衬底层上生长氮化铟红外探测薄膜层,之后采用低温水溶液方法生长氧化铟纳米电子聚集层,并在其表面溅射非晶氧化镓日盲探测薄膜层,最后分别在氮化铟红外探测薄膜层及非晶氧化镓日盲探测薄膜层用银胶作为接触电极,构建日盲/红外双波段自动能光电探测器件。本发明的产品对紫外光和红外光有着非常好的光响应,器件无需外加偏压,具有自动能光电特性,重复性好,操作简单,制造成本低,可以同时实现日盲以及红外探测。
基本信息
专利标题 :
一种日盲/红外双波段自动能光电探测器件及制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114497261A
申请号 :
CN202210012563.7
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-06
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杜诗宇于乃森赵亮吴云峰刘本康李海鸥
申请人 :
大连民族大学
申请人地址 :
辽宁省大连市经济技术开发区辽河西路18号
代理机构 :
大连智高专利事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
胡景波
优先权 :
CN202210012563.7
主分类号 :
H01L31/101
IPC分类号 :
H01L31/101 H01L31/18 H01L31/20 H01L21/203 H01L21/208
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/101
申请日 : 20220106
申请日 : 20220106
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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