一种磷化铟减薄腐蚀液及其应用
实质审查的生效
摘要
本申请涉及磷化铟晶片加工领域，具体公开了一种磷化铟减薄腐蚀液及其应用，所述磷化铟减薄腐蚀液包括如下重量份的原料：酸溶液6‑12份、氧化剂2‑6份、去离子水1‑6份；所述酸溶液由盐酸、硫酸制得，其添加的重量份如下：盐酸10‑15份、硫酸2‑6份；所述氧化剂由双氧水、高锰酸钾和重铬酸钾制得，其添加的重量份如下：双氧水15‑20份、高锰酸钾4‑8份、重铬酸钾4‑6份；本申请的磷化铟减薄腐蚀液具有提高晶片的研磨效率、保护晶片研磨面的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种磷化铟减薄腐蚀液及其应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114540033A
申请号 ：
CN202210034280.2
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-01-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
邢峥李海淼
申请人 ：
北京通美晶体技术股份有限公司
申请人地址 ：
北京市通州区工业开发区东二街4号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210034280.2
主分类号 ：
C09K13/04
IPC分类号 ：
C09K13/04 C30B29/40 C30B33/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K13/00
蚀刻，表面光亮或浸蚀组合物
C09K13/04
含一种无机酸
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09K 13/04
申请日 : 20220113
申请日 : 20220113
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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