一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统
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摘要

本实用新型一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统,本实用新型属于半导体技术领域,包括真空系统、充放气系统、温度与压力控制系统、电气控制系统、冷却循环系统、称重系统和炉体,炉体上设置有坩埚杆旋转升降机构和籽晶杆升降机构,关键在于:所述炉体分隔为合成生长室、投料室及装料室,装料室和投料室借助插板分隔,装料室内设置翻转投料器,投料室内设置送料管,送料管一端对接翻转投料器,一端延伸至合成生长室内的坩埚内形成铟磷混合球投送结构;坩埚定位在坩埚杆上,籽晶杆升降机构设置在合成生长室顶盖上。可将铟磷混合球快速投入到覆盖有液态氧化硼的坩埚中,合成后后,原位提拉形成磷化铟晶体,合成速度更快,利于产业化生产。

基本信息
专利标题 :
一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922035645.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-22
授权号 :
CN211112317U
授权日 :
2020-07-28
发明人 :
孙聂枫王书杰史艳磊邵会民付莉杰李晓岚王阳徐森锋刘惠生孙同年
申请人 :
中国电子科技集团公司第十三研究所
申请人地址 :
河北省石家庄市新华区合作路113号
代理机构 :
石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
王苑祥
优先权 :
CN201922035645.X
主分类号 :
C30B29/40
IPC分类号 :
C30B29/40  C30B15/00  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/40
AⅢBv化合物
法律状态
2020-07-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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