一种磷化铟单晶制备系统及方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种磷化铟单晶制备系统及方法,包括支撑架以及安装在支撑架上的抛光组件与位移组件,所述抛光组件包括第一固定台,所述第一固定台上固定安装有第一电机,所述第一电机的输出端配合连接有第一主轴,所述第一主轴上配合连接有抛光头,当驱动第一电机旋转时,抛光头能够随着第一主轴旋转,所述抛光组件还包括第二固定台与齿轮安装台,所述第二固定台上固定安装有第二电机,所述第二电机的输出端配合连接有第二主轴,系统在传动过程中平稳,传动效率高,易于控制,在保证加工效率的同时,还保证加工件的质量,提高了加工件的可靠性,提高了经济效益。
基本信息
专利标题 :
一种磷化铟单晶制备系统及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114523407A
申请号 :
CN202210094548.1
公开(公告)日 :
2022-05-24
申请日 :
2022-01-26
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
潘功寰
申请人 :
苏州中砥半导体材料有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区珠江路900号5号楼101-1
代理机构 :
佛山粤进知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
耿鹏
优先权 :
CN202210094548.1
主分类号 :
B24B29/02
IPC分类号 :
B24B29/02 B24B41/04 B24B41/06 B24B47/20 B24B49/00 B24B51/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2022-06-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 29/02
申请日 : 20220126
申请日 : 20220126
2022-05-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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