本发明属于输送系统技术领域，具体涉及一种磷化铟加工用输送系统，本磷化铟加工用输送系统包括：上料机构、上料输送机构、转运机构、清理机构和下料输送机构；其中上料机构在磷化铟晶圆放置处吸附单片磷化铟晶圆送至上料输送机构上，转运机构在清理机构上做圆周运动，并吸附相应磷化铟晶圆转运至下料输送机构；以及清理机构对转动的转运机构的表面进行清洁、润滑；本发明通过设置上料机构将磷化铟晶圆搬运到上料输送机构进行输送、加工，并由转运机构将在上料输送机构加工完成的磷化铟晶圆转运到下料输送机构进行最终下料，同时通过清理机构不断对转运机构进行清洁、润滑，能够避免脏污、不够润滑影响转运机构的输送效率，保证转运持续进行。