一种用于磷化铟单晶的脱模装置
授权
摘要
本实用新型涉及磷化铟生产设备技术领域，公开了一种用于磷化铟单晶的脱模装置，包括脱模外壳，所述脱模外壳上设置有加热丝，所述脱模外壳内设置有坩埚承接座，所述脱模外壳上开设有第一进水孔和第一出水孔，所述坩埚承接座的底部开设有与第一进水孔连通的第二进水孔，以及与第一出水孔连通的第二出水孔，所述脱模外壳上设置有超声波发生器。本实用新型能够有效的将磷化铟晶棒从PBN坩埚脱出，同时降低对坩埚的损坏，提升坩埚使用寿命和运转效率，降低成本。
基本信息
专利标题 ：
一种用于磷化铟单晶的脱模装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021790661.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
CN213476158U
授权日 ：
2021-06-18
发明人 ：
罗福敏胡昌勇
申请人 ：
威科赛乐微电子股份有限公司
申请人地址 ：
重庆市万州区万州经开区高峰园B02
代理机构 ：
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 ：
张晨
优先权 ：
CN202021790661.6
主分类号 ：
C30B29/40
IPC分类号 ：
C30B29/40 C30B11/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/40
AⅢBv化合物
法律状态
2021-06-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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