一种抑制氧气逸出的基于氧空位导电丝的阻变存储器及其制备方...
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种抑制氧气逸出的基于氧空位导电丝的阻变存储器及其制备方法，该存储器的结构由下至上依次包括基底、底电极、功能层和顶电极；其中，所述功能层由壳聚糖层和氧化铝层组成，所述壳聚糖层是将壳聚糖溶液旋涂在底电极上制备形成的薄膜，所述壳聚糖溶液为脱乙酰度≥95％的壳聚糖溶于2％的乙酸形成；所述氧化铝层是由三甲基铝和水反应生成氢氧化铝随后分解形成。本发明通过ALD法在壳聚糖层上沉积氧化铝层，抑制了壳聚糖层中在形成氧空位导电丝后，从顶电极逸出的氧气，实现了存储器件的低操作电压、高开关比，提升了稳定性，获得了可多次读写擦循环的阻变存储器器件。
基本信息
专利标题 ：
一种抑制氧气逸出的基于氧空位导电丝的阻变存储器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114512608A
申请号 ：
CN202210037712.5
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2022-01-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李雯徐潇仪明东周嘉柯蕴芯
申请人 ：
南京邮电大学
申请人地址 ：
江苏省南京市鼓楼区新模范马路66号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
曹翠珍
优先权 ：
CN202210037712.5
主分类号 ：
H01L51/30
IPC分类号 ：
H01L51/30 H01L51/05 H01L51/40
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 51/30
申请日 : 20220113
申请日 : 20220113
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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