本发明提供了一种体散射缺陷检测设备及方法，该设备通过照明系统输出传输方向相互垂直且光束输出面平行于目标光学元件表面的第一探测光束和第二探测光束，并使得第一探测光束和第二探测光束入射到目标光学元件内，在目标光学元件内一区域处交汇形成厚度与显微镜头景深一致的体照明区域，然后通过显微成像系统对该体照明区域的散射光进行成像，得到目标光学元件的缺陷图像，以解析出目标光学元件内的体散射缺陷分布。该方案可以使得镜头景深以外的缺陷不被照亮，消除体散射检测成像结果中的离焦虚像，从而提高体散射缺陷识别结果的准确性。