本发明提供一种金属镀膜自动化控制装置及其方法，其通过设备监控及业务处理端将目标膜厚、工艺配方的初始化工艺参数输入到数据处理及系统服务端，其中的膜厚预测模型依据输入工艺参数预测输出膜厚，并计算与输入的目标膜厚计算间的误差，依据预测膜厚相比目标膜厚的薄厚程度、各工艺参数预设调节优先级、PID调节方式，给出各工艺参数优化后参数，如此迭代膜厚预测和反馈调节，直到最后预测膜厚与目标膜厚一致并输出，输出工艺参数通过网关盒子传输到生产设备终端。本发明能够实现自动化膜厚控制调节，有助于提高镀膜效率，能够应用于金属镀膜工厂，且在通用的物理气相沉积镀膜领域有着广泛的应用前景。