本发明提供一种微流体器件及其制作方法，包括器件晶圆和喷嘴晶圆，所述器件晶圆包括衬底、绝缘层和加热器，所述绝缘层设置在衬底的顶部，所述加热器设置在绝缘层的顶部，所述绝缘层的顶部处于加热器两侧的位置处设置有金属导线，所述绝缘层、金属导线和加热器的顶部设置有钝化层，所述喷嘴晶圆包括硅片，所述硅片的底部开设有空腔，所述空腔顶部内侧壁的中心位置处开设有喷嘴，所述喷嘴和空腔的位置与加热器相对应，该微流体器件的制作方法设计合理，进一步改善打印头的制造工艺，提升打印头的可靠性，降低打印头的制造成本。