本发明是一种微阵列芯片、其制备方法及其应用，其包括基板和至少一个检测阵列，检测阵列包括有电极和检测位点，检测位点的材料为多孔性石墨烯和/或多孔性氧化石墨烯，电极和检测位点均设于基板，且电极与检测位点电连接，检测阵列呈有序排列。本发明的微阵列芯片由于在基板上设置有连接检测位点的电极，通过对电极施加或偏正电压或偏负电压，从而促进被检测的目标物向电极方向也就是带有探针的检测位点的石墨烯上聚集，增加检测的灵敏度和下限，且制备方法简易，尤其适用于样本中含量较低的微生物的检测。