一种化学液相沉积法制备氧化铪薄膜的方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种化学液相沉积法制备氧化铪薄膜的方法，主要通过铪的无机盐与强碱弱酸盐发生双水解反应，同时加入能促进水解反应和促进凝聚作用的硫酸根离子，再通过控制强碱弱酸盐的量调节溶液pH值，使得沉淀缓慢析出并沉积在衬底表面，之后进行退火处理得到致密且连续、有良好的漏电性和高透过率的氧化铪薄膜，本发明可以作为一种成本低廉、工艺简便的新型氧化铪薄膜的制备方法，应用于光学，电学器件中。
基本信息
专利标题 ：
一种化学液相沉积法制备氧化铪薄膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114411124A
申请号 ：
CN202210104274.X
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2022-01-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孙捷刘义锋牛萌杜佳怡严子雯田亮聂君扬严群杨天溪黄忠航
申请人 ：
福州大学
申请人地址 ：
福建省福州市闽侯县福州大学城乌龙江北大道2号福州大学
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
俞舟舟
优先权 ：
CN202210104274.X
主分类号 ：
C23C18/12
IPC分类号 ：
C23C18/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18/00
通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆；接触镀
C23C18/02
热分解法
C23C18/12
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 18/12
申请日 : 20220128
申请日 : 20220128
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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