一种新型化学液相沉积炉
授权
摘要
本实用新型提供了一种碳/碳复合材料的致密及生产制备中的新型化学液相沉积炉，包括工作室、冷凝器和炉盖，工作室和冷凝器是两个由若干冷凝管相贯通的腔室；其中工作室中包括前驱体槽、支架、预制体和感应线圈等；预制体在工作室中被局部感应加热，实现液相沉积；所述前驱体槽位于工作室内，且底部与工作室底部不接触；前驱体槽和工作室底部之间充有前驱体，前驱体槽内充有前驱体；本装置采取局部感应加热，使得预制体不受尺寸限制，较传统化学液相沉积炉工作状态而言，新型化学液相沉积炉致密效果可控制，降低了生产成本。新型化学液相沉积炉采用多管螺旋轴式冷凝器，大大提高了前驱体的回收率，在节省成本的同时降低了对环境的污染。
基本信息
专利标题 ：
一种新型化学液相沉积炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921339998.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-19
授权号 ：
CN211142170U
授权日 ：
2020-07-31
发明人 ：
周挺岳浩
申请人 ：
西安宸瑞电工科技发展有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区高新路33号新汇大厦B座1802室
代理机构 ：
北京冠和权律师事务所
代理人 ：
朱健
优先权 ：
CN201921339998.2
主分类号 ：
C23C18/00
IPC分类号 ：
C23C18/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18/00
通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆；接触镀
法律状态
2020-07-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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