本发明涉及单晶硅刻蚀送气设备安全检测技术领域，具体涉及一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气设备，包括送气设备本体，还包括气体流量计、温度传感器、电子显微镜和处理器构成的检测系统；处理器用于获取实时气体占比向量、实时气压变化序列、实时温度变化序列和实时刻蚀结果向量；计算实时气压向量和温度的实时稳定程度，根据实时气压向量、实时温度、实时气压变化序列、实时稳定程度、实时气体占比向量、实时刻蚀结果向量和其对应的标准数据特征之间的差异得到送气设备的评价值。本发明通过该检测系统对送气设备进行了检测评估，确保了送气设备的可靠性，保证了刻蚀结果的稳定性。