一种温度控制方法、装置及电子设备
公开
摘要
本申请提供了一种温度控制方法、装置及电子设备，其中，该方法包括：获取当前采样时刻的真实投影物镜温度和预置投影物镜温度，计算当前采样时刻的真实投影物镜温度与预置投影物镜温度的第一投影物镜温度偏差的绝对值；确定第一投影物镜温度偏差的绝对值对应的当前温差范围；根据当前温差范围确定对应的目标调节值，将循环水对应的温度调节设备调节到目标调节值；确定调节后的真实投影物镜温度是否属于目标温度范围；若调节后的真实投影物镜温度不属于目标温度范围，则跳转到获取当前采样时刻的真实投影物镜温度和预置投影物镜温度继续执行。
基本信息
专利标题 ：
一种温度控制方法、装置及电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114594810A
申请号 ：
CN202210201055.3
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杜旭高建利高繁星刘德卢金剑
申请人 ：
北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
高燕
优先权 ：
CN202210201055.3
主分类号 ：
G05D23/20
IPC分类号 ：
G05D23/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D23/00
温度的控制
G05D23/19
以使用电装置为特征的
G05D23/20
具有随温度变化而产生电或磁性质变化的传感元件
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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