一种钨靶材的镜面加工方法及其应用
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种钨靶材的镜面加工方法及其应用，所述镜面加工方法包括依次进行的磨床预磨、砂带机抛光以及化学机械研磨抛光。所述机械加工方法可以将钨靶材表面加工成反射率高的镜面，使得钨靶材可以采用宏观腐蚀来监测其晶粒均匀性，替代边料小样监测的方法。
基本信息
专利标题 ：
一种钨靶材的镜面加工方法及其应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114536111A
申请号 ：
CN202210203398.3
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-03-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
姚力军潘杰边逸军王学泽廖培君沈学峰
申请人 ：
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
韩承志
优先权 ：
CN202210203398.3
主分类号 ：
B24B1/00
IPC分类号 ：
B24B1/00 B24B27/00 B24B21/00 G01N1/28 G01N1/32
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B1/00
磨削或抛光的工艺；与此工艺有关的所用辅助设备
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 1/00
申请日 : 20220303
申请日 : 20220303
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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