一种大尺寸钼靶材及其制备方法与应用
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种大尺寸钼靶材及其制备方法与应用，所述制备包括依次进行的高纯钼粉装模、冷等静压、烧结、热轧、校平、热处理、机械加工、清洁包装，进而制备得到所述大尺寸钼靶材；其中，所述热轧采取阶段热轧法进行，具体包括依次进行的第一热轧处理、第二热轧处理以及第三热轧处理。本发明提供的大尺寸钼靶材的制备方法简单，可操作性强；制备得到的大尺寸钼靶材实现了晶粒的多样性控制，满足不同的溅射要求；也可以实现大尺寸高世代线靶材的生产。
基本信息
专利标题 ：
一种大尺寸钼靶材及其制备方法与应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114411103A
申请号 ：
CN202210053774.5
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2022-01-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
姚力军潘杰郭红波李伟王林生吴庆勇
申请人 ：
宁波江丰钨钼材料有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市临山镇临临路128号
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
韩承志
优先权 ：
CN202210053774.5
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 B22F3/04 B22F3/18 B22F3/10 B22F5/00 B22F3/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/34
申请日 : 20220118
申请日 : 20220118
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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