一种铝靶材的加工方法
授权
摘要
本发明提供一种铝靶材的加工方法，所述加工方法包括：对焊接后的铝靶材以及铝背板加工O‑Ring槽，并对喷砂区域进行喷砂处理。所述加工方法可解决铝靶材O‑Ring槽真空漏气和喷砂Arcing的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种铝靶材的加工方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112775845A
申请号 ：
CN202011566328.1
公开（公告）日 ：
2021-05-11
申请日 ：
2020-12-25
授权号 ：
CN112775845B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
姚力军边逸军潘杰王学泽章丽娜
申请人 ：
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
王岩
优先权 ：
CN202011566328.1
主分类号 ：
B24C1/00
IPC分类号 ：
B24C1/00 C23C14/34
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24C
磨料或微粒材料的喷射
B24C1/00
为产生特殊效果的喷射磨料的方法；与这些方法有关的所使用的辅助装置
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2021-05-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24C 1/00
申请日 : 20201225
申请日 : 20201225
2021-05-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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