本发明提供了一种晶棒自动化运输装置及其方法，包括：第一传输机构、第二传输机构、配置在第一和第二传输机构之间的上下料机械臂机构、控制机构；上下料机械臂机构包括旋转机构、配置在旋转机构上的升降机构、配置在升降机构上的伸缩机构、配置在伸缩机构上的夹取机构；旋转机构用于带动升降机构在传输机构和晶棒多线切割机之间旋转；升降机构用于带动伸缩和夹取机构升降；伸缩机构用于伸出收回夹取机构；夹取机构用于夹取放在第一传输机构的待加工晶棒并放在切割机内部，夹取切割机内部已加工晶棒放在第二传输机构上；传输、上下料机械臂机构与控制机构连接。旨在解决现有晶棒线切方案存在晶棒随待线切晶棒重量的增加，人工难以搬运的问题。