一种脉冲通孔填孔的电镀铜配方及其电镀工艺
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种脉冲通孔填孔的电镀铜配方及其电镀工艺,该电镀铜配方包括以下质量浓度的组分:铜盐60‑90g/L、浓硫酸150‑200g/L、抑制剂30‑90mg/L、整平辅助剂10‑30mg/L、加速剂1‑8g/L、定位剂20‑60mg/L、分散剂15‑45mg/L、光亮剂15‑45mg/L。该发明溶液保证了通孔孔口不会出现断裂,对于孔厚径比大于15:1的板,其深镀能力大于95%,填孔板最厚可做3.5mm以上,填孔率保持在95%以上。
基本信息
专利标题 :
一种脉冲通孔填孔的电镀铜配方及其电镀工艺
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114351195A
申请号 :
CN202210273777.X
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-03-19
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王江锋姚吉豪李云华
申请人 :
深圳市创智成功科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区新安街道留仙二路中粮商务公园1栋14楼1403A
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202210273777.X
主分类号 :
C25D3/38
IPC分类号 :
C25D3/38 C25D5/34 C25D7/00 H05K3/42
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D3/00
电镀;其所用的镀液
C25D3/02
溶液
C25D3/38
铜的
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C25D 3/38
申请日 : 20220319
申请日 : 20220319
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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