本发明属于半导体晶圆技术领域，尤其是一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，包括清水槽和机械手，机械手设置在清水槽的一侧，还包括安装在清水槽上的盖体、调节装置、环形清洗装置以及直线清洗装置。该适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，通过设置直线清洗装置，能够对机械手水平方向的夹爪进行清洗，通过双轴电机带动驱动齿轮在齿条上转动的同时进行水平移动，双轴电机的另一端能够带动两个滚刷进行自转，使得两个滚刷位于机械手的水平方向夹爪的上表面与下表面，对其进行洗刷的同时能够水平移动，从而进行全方位的洗刷，解决了现有的晶圆拿取使用的机械手清洗不彻底，影响晶圆的清洗的技术问题。