一种半导体加工清洗用机械手
授权
摘要
本实用新型涉及一种半导体加工清洗用机械手，包括支撑架、清洁池、圆柱块、固定块、固定销、L型杆、微型电动杆、压板、橡胶块、复位盘簧、电动机、齿轮一、齿轮二、转动轴、圆柱杆、输水管、布水管以及电动推杆。本实用新型微型电动杆工作带动压板向着圆柱块移动，压块移动对L型杆进行挤压，使得L型杆围绕固定销转动，进而使得两个橡胶块移动对半导体进行夹持，L型杆转动对复位盘簧进行挤压，使得复位盘簧产生弹力，电动机工作带动齿轮一转动，齿轮一转动带动齿轮二转动，齿轮二转动带动转动轴转动，进而带动圆柱杆转动，当圆柱杆转动90°时，使得另一个电动推杆位于清洗池上侧。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体加工清洗用机械手
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922323879.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-23
授权号 ：
CN210837680U
授权日 ：
2020-06-23
发明人 ：
刘五奎王友伟季佳敏徐惠懂
申请人 ：
爱特微（张家港）半导体技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港经济技术开发区新丰东路3号
代理机构 ：
常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
高姗
优先权 ：
CN201922323879.4
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/687 B25J11/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-06-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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