一种半导体生产加工用清洗装置
授权
摘要
本实用新型提供一种半导体生产加工用清洗装置。所述半导体生产加工用清洗装置包括超声波清洗槽;超声波发生器,所述超声波发生器设置在所述超声波清洗槽的底部;转动机构,所述转动机构设置在所述超声波清洗槽的一侧;第二电机,所述第二电机设置在所述转动机构上;收卷轴,所述收卷轴固定安装在所述第二电机的输出轴上;两个绕线轮,两个所述绕线轮均固定套设在所述收卷轴上;两个钢丝绳,两个所述钢丝绳分别缠绕在两个所述绕线轮上;两个挂环,两个所述挂环分别设置在两个所述钢丝绳的一端。本实用新型提供的半导体生产加工用清洗装置具有搬运物料方便,清洗较为干净,较为省时省力的优点。
基本信息
专利标题 :
一种半导体生产加工用清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021169110.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-22
授权号 :
CN213103568U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
刘伟阳
申请人 :
南京国科半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢554室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021169110.8
主分类号 :
B08B3/12
IPC分类号 :
B08B3/12 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的(声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13;使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20;超声波振动用于一般化学、物理,或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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