本发明提供一种光刻掩模板缺陷检测方法、装置、设备及可读存储介质。该方法包括：获取检测图像和参考图像；根据结构元素方向算子、检测图像以及参考图像分别计算得到检测图像各个像素点的方向形态学梯度以及参考图像各个像素点的方向形态学梯度；计算检测图像各个像素点的方向形态学梯度减去参考图像对应位置处的各个像素点的方向形态学梯度的差值，根据差值得到检测图像与参考图像的差影图；根据差影图对光刻掩模板进行缺陷检测。通过本发明，采用方向形态学梯度方法而非邻近单元灰度对比法对光刻掩模板进行缺陷检测，避免了通过邻近单元灰度比对法对光刻掩模板进行检测的检测结果不够精确的问题。