一种满足大晶圆尺寸的约瑟夫森结、制备方法和用途
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种满足大晶圆尺寸的约瑟夫森结、制备方法和用途，在衬底上制备Ta（110）膜，光刻制备超导电路结构，掩膜光刻形成下电极Ta（110）层，下电极Ta（110）层表面制备Ta2O5氧化层作为中间层，掩膜光刻形成上电极Ta（110）层，制备得到所述的约瑟夫森结。本发明以Ta（110）超导薄膜作为约瑟夫森结的下电极和上电极，其表面的Ta2O5氧化层具有致密、稳定等特点，可采用食人鱼溶液进行钝化、优化，进一步去除光刻残胶，并保证超导电路结构及约瑟夫森结的稳定，具有工艺步骤简洁、稳定可控、集成度高等特点，可制备满足大晶圆尺寸范围内均一、稳定的约瑟夫森结，适用于不同面积的约瑟夫森结的调控。
基本信息
专利标题 ：
一种满足大晶圆尺寸的约瑟夫森结、制备方法和用途
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114447204A
申请号 ：
CN202210371353.7
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2022-04-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨丽娜冯加贵熊康林吴艳伏李睿颖贾浩林
申请人 ：
材料科学姑苏实验室
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区若水路388号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
赵颖
优先权 ：
CN202210371353.7
主分类号 ：
H01L39/24
IPC分类号 ：
H01L39/24 H01L39/02 H01L39/12 H01L39/22
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 39/24
申请日 : 20220411
申请日 : 20220411
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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