大尺寸晶圆兆声清洗系统
授权
摘要
本发明涉及半导体清洗技术领域，提供一种大尺寸晶圆兆声清洗系统，包括：座体；转动座，可转动地设置于座体；振荡器，与转动座连接；第一驱动机构，用于驱动转动座转动；换能装置，用于进行声电转换，并与振荡器连接；第二驱动机构，用于与晶圆的第一端面连接并驱动晶圆转动，第二驱动机构与振荡器相对设置，以使晶圆的第二端面朝向振荡器并与换能装置的运行轨迹相对；液体输送机构，设有排液口，排液口朝向振荡器；控制组件，与换能装置连接并用于控制换能装置发射的声能大小，以使晶圆受到均匀的声波能量。通过旋转移动的方式扫描晶圆，换能装置的尺寸不再需要跟晶圆的尺寸相匹配，可降低压电陶瓷片的制造难度。
基本信息
专利标题 ：
大尺寸晶圆兆声清洗系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114054429A
申请号 ：
CN202210024372.2
公开（公告）日 ：
2022-02-18
申请日 ：
2022-01-11
授权号 ：
CN114054429B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
咸威咸寿荣
申请人 ：
北京东方金荣超声电器有限公司
申请人地址 ：
北京市通州区中关村科技园通州园光机电产业基地兴光五街1号
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
耿向宇
优先权 ：
CN202210024372.2
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2022-03-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 3/12
申请日 : 20220111
申请日 : 20220111
2022-02-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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