用于清洗晶圆的排列式兆声清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于清洗晶圆的排列式兆声清洗装置，包括：清洗槽；第一主动轴和第二主动轴，平行设于清洗槽内，且在驱动单元的驱动下可绕其自身中心线周向旋转；第一主动轴上沿长度方向设有至少两个第一卡槽，第二主动轴上沿长度方向设有至少两个第二卡槽，该第二卡槽与第一卡槽对应设置；多片晶圆分别通过第一卡槽和第二卡槽的配合实现放置，且第一主动轴和第二主动轴被构造为分别位于晶圆的中轴线的两侧；第一主动轴和第二主动轴沿相同方向转动，可摩擦驱动多片晶圆同时转动，以实现清洗。本实用新型清洗槽中可以放置多片晶圆进行同时清洗，在确保同等清洗效率的前提下，最大程度减小了清洗槽的占地面积，确保晶圆清洗的效果一致性。
基本信息
专利标题 ：
用于清洗晶圆的排列式兆声清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122519276.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-19
授权号 ：
CN216262401U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
徐枭宇杨渊思
申请人 ：
杭州众硅电子科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层
代理机构 ：
杭州凯知专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
邵志
优先权 ：
CN202122519276.9
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
