一种多结分布式反馈激光器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种多结分布式反馈激光器及其制备方法,其中多结分布式反馈激光器包括:衬底;至少两层的有源发光层,位于衬底的同一侧;至少两层的有源发光层沿第一方向层叠设置,第一方向为垂直于衬底的方向;相邻两层的有源发光层之间设置有一层隧道结光栅,隧道结光栅包括沿第二方向依次交替设置的隧道结部和填充部;其中,位于隧道结光栅两侧的有源发光层通过隧道结部电连接;隧道结光栅可使其两侧的有源层在第二方向上形成周期分布的载流子注入,从而具备增益耦合光栅的效果,第二方向与第一方向垂直。本发明实施例提供的技术方案实现了提高DFB激光器的单模良率的同时,提高激光器的量子效率和可靠性。
基本信息
专利标题 :
一种多结分布式反馈激光器及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114465090A
申请号 :
CN202210381963.5
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-04-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李善文李辉杰牛守柱李含轩
申请人 :
常州纵慧芯光半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区凤翔路7号
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
李礼
优先权 :
CN202210381963.5
主分类号 :
H01S5/12
IPC分类号 :
H01S5/12 H01S5/30 H01S5/22
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 5/12
申请日 : 20220413
申请日 : 20220413
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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