一种体声波谐振器制作的方法
公开
摘要
本发明提出了一种体声波谐振器制作的方法。所述方法包括在临时底衬的一侧上布设氧化硅层，并在所述氧化硅层上设置带有空腔凸起的压电层；在所述带有空腔凸起的压电层的远离所述临时底衬的一侧表面上形成下电极；在所述下电极上形成具有垂直壁与斜壁结合式空腔结构的体声波谐振结构；去除所述临时底衬和氧化硅层；并在所述压电层的远离下电极的一侧表面上形成上电极及电连结构。
基本信息
专利标题 ：
一种体声波谐振器制作的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114598287A
申请号 ：
CN202210495592.3
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-05-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
深圳新声半导体有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园3栋801
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210495592.3
主分类号 ：
H03H3/02
IPC分类号 ：
H03H3/02
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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