本实用新型属于半导体制造技术领域，具体为用于半导体制造的光刻装置，包括底座，所述底座上方的一侧设置有电动推杆，所述电动推杆前后均设置有第一限位板，所述电动推杆伸缩端设置有第一推板，所述底座上方的另一侧设置有导筒，所述导筒内设置有夹杆，所述夹杆远离所述电动推杆的一端设置有拉环，所述导筒与所述夹杆之间设置有弹簧，所述夹杆上设置有卡环。通过本实用新型便于将待光刻半导体原材料传送至光刻处并夹紧使其充分固定，降低操作人员的劳动强度；便于根据加工要求调节本装置内零部件的工作频率，使其适应多种加工要求；便于操作人员维护，易损件便于更换，能够降低生产成本。