单板机直接数字控制外延设备
专利权的终止
摘要
单板机直接数字控制外延设备是一种半导体工艺设备。本实用新型采用一台单板计算机对气相硅外延设备的温度、流量等工艺过程进行直接数字控制和程序控制，可广泛应用于各种半导体和集成电路的生产过程中。本设备用简单的人—机对话方式输入参数，以迅速更换产品品种，工人操作方便。它用粗、精测双通道输入部件，只需配备低价的八位模数转换器就能实现对温度的高分辨率转换，且有计算机程序出错报警装置，进一步完善了报警功能。本装置有较好的性能价格比。
基本信息
专利标题 ：
单板机直接数字控制外延设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN85200023.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1985-04-01
授权号 ：
CN85200023U
授权日 ：
1985-09-10
发明人 ：
梁任秋黄胜军
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
严文典
优先权 ：
CN85200023.5
主分类号 ：
H01L21/20
IPC分类号 ：
H01L21/20
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/18
器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料
H01L21/20
半导体材料在基片上的沉积，例如外延生长
法律状态
1989-12-13 ：
专利权的终止
1986-01-08 ：
授权
1985-09-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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