一种外延炉的过滤装置及其应用的外延设备
授权
摘要
本实用新型提供一种外延炉的过滤装置及其应用的外延设备，所述过滤装置至少包括：进气端；出气端；尾气处理单元，所述进气端和所述出气端通过尾气处理单元连接；收纳盒，所述收纳盒与所述尾气处理单元连接；以及，过滤网，设置在所述尾气处理单元和所述出气端之间。本实用新型所提供的外延炉过滤装置，可以改善外延炉尾端极易堵塞、工艺制程泵易损坏的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种外延炉的过滤装置及其应用的外延设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122705306.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-03
授权号 ：
CN216170848U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
吴从俊马宁纵兆武潘尧波
申请人 ：
中电化合物半导体有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市杭州湾新区兴慈一路290号3号楼105-1室
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
苗晓娟
优先权 ：
CN202122705306.5
主分类号 ：
B01D46/24
IPC分类号 ：
B01D46/24
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/24
采用刚性空心滤体的粒子分离器，如聚尘器
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
