一种温湿双功能敏感薄膜元件及其制造方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种由聚酰亚胺薄膜电容式湿敏元件和铝、钛双金属薄膜电阻式温敏元件结合组成的温、湿双功能敏感薄膜元件。这是在衬底硅片表面上先生长一层二氧化硅，然后用薄膜工艺，在二氧化硅绝缘层上先后淀积钛、铝、聚酰亚胺、金等各种薄膜，并用掩模板使薄膜形成微细图案。该敏感元件能同时检测环境中同一点的温度和湿度，并具有测量范围宽，线性度好，不需加热清洗、响应快、体积小等特点。在工农业生产、贮存、管理以及日常生活中有广泛应用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种温湿双功能敏感薄膜元件及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1043987A
申请号 ：
CN90105203.5
公开（公告）日 ：
1990-07-18
申请日 ：
1989-12-26
授权号 ：
CN1016896B
授权日 ：
1992-06-03
发明人 ：
茅有福许德霖
申请人 ：
华东师范大学
申请人地址 ：
200062上海市普陀区中山北路3663号
代理机构 ：
华东师范大学专利事务所
代理人 ：
俞允超
优先权 ：
CN90105203.5
主分类号 ：
G01D5/12
IPC分类号 ：
G01D5/12 H01L49/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D5/00
用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器
G01D5/12
采用电或磁装置
法律状态
1998-02-18 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-03-24 ：
授权
1992-06-03 ：
审定
1990-07-25 ：
实质审查请求
1990-07-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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