一种电化学沉积－热解烧制氧化物薄膜的方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明提出的电化学沉积—热解烧制氧化物薄膜的方法属于表面涂层涂覆技术，主要涉及氧化物薄膜的制备。为了解决沉积速度、工序繁杂和薄膜均匀问题，本发明采用电化学沉积和热解烧制两个过程，即将金属盐溶解于无水乙醇中，将待涂工件作为阴极，在一定的电压下进行电沉积，然后把得到的沉积膜在某一温度下热解，便可制得所需的氧化物薄膜。本发明简化了工艺，并通过工艺参数的控制，可以得到均匀一致的薄膜。
基本信息
专利标题 ：
一种电化学沉积－热解烧制氧化物薄膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1089667A
申请号 ：
CN93100181.1
公开（公告）日 ：
1994-07-20
申请日 ：
1993-01-09
授权号 ：
CN1040345C
授权日 ：
1998-10-21
发明人 ：
路新瀛何业东朱日彰
申请人 ：
北京科技大学
申请人地址 ：
100083北京市海淀区学院路30号
代理机构 ：
北京科技大学专利代理事务所
代理人 ：
杨玲莉
优先权 ：
CN93100181.1
主分类号 ：
C23C28/04
IPC分类号 ：
C23C28/04 C25D9/08 C25D5/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C28/00
用不包含在C23C2/00至C23C26/00各大组中单一组的方法，或用包含在C23C小类的方法与C25D小类中方法的组合以获得至少二层叠加层的镀覆
C23C28/04
仅为无机非金属材料覆层
法律状态
2000-03-01 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-10-21 ：
授权
1995-03-08 ：
实质审查请求的生效
1994-07-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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