一种新式热解石墨气相沉积装置
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摘要
本实用新型公开了一种新式热解石墨气相沉积装置，包括支撑机构、进气机构、罩壳和石墨电阻发热体。该新式热解石墨气相沉积装置，将碳素件摆放在支撑机构的载物托盘上，然后控制第二气缸带动支撑台面上升，从而使得载物托盘带动碳素件上升到工作时的位置；打开真空系统阀门，通过真空泵将罩壳内的气压抽真空,开始加热，控制石墨电阻发热体发热体开始升温，恒温结束后进气管及石墨隔挡板下降到发热体二分之一位置处；此时由进气管供给碳氢气体原料，当热解石墨气象沉积10‑30分钟之后，控制电机开始工作，电机带动载物托盘以十分钟每转的速度；当气相沉积过程结束后，进气管及石墨隔挡板上升回到初始位置后，开始通过水冷排管降温。
基本信息
专利标题 ：
一种新式热解石墨气相沉积装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021839825.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-28
授权号 ：
CN212505058U
授权日 ：
2021-02-09
发明人 ：
付善任张红夏倩倩
申请人 ：
上海岚玥新材料科技有限公司
申请人地址 ：
上海市奉贤区奉浦大道1599号M栋
代理机构 ：
北京挺立专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
田黎绒
优先权 ：
CN202021839825.X
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/26 C23C16/458
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-02-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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