沉积碳纳米管薄膜的设备

专利权的终止

摘要

本发明涉及一种沉积碳纳米管薄膜的设备，其包括一支撑装置，多个设置在支撑装置上的喷射装置及多个分别与喷射装置相连通的输送管。所述支撑装置包括一第一支撑件、一第二支撑件及一扣紧装置。所述沉积碳纳米管的装置具有可同时大面积成膜，成膜快速，成本低廉的优点。

基本信息

专利标题：

沉积碳纳米管薄膜的设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1947860A

申请号：

CN200510100356.3

公开（公告）日：

2007-04-18

申请日：

2005-10-14

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

林孟东

申请人：

鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司

申请人地址：

518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200510100356.3

主分类号：

B05C5/02

IPC分类号：

B05C5/02 B05C13/00 B05B15/00 B05D3/10 C23F17/00